微导纳米获32家机构调研：第三代半导体是公司半导体领域内的主要布局方向之一目前公司有关产品已取得了多家知名客户的订单可应用于第三代化合物功率器件领域（附调研问答）

　　微导纳米11月20日发布投资者关系活动记录表，公司于2023年11月17日接受32家机构调查与研究，机构类型为QFII、其他、基金公司、海外机构、证券公司、阳光私募机构。 投资者关系活动主要内容介绍：

　　一、公司简介微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售，向下游客户提供先进薄膜设备、配套产品及服务。 在半导体领域内，公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积（ALD）设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备厂商，已与国内多家厂商建立了深度合作伙伴关系，相关这类的产品涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等诸多细分应用领域，多项设备关键指标达到国际领先水平。在光伏领域内，公司作为率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业，已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一，与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系。同时，公司跟随下游厂商的量产节奏，持续优化XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术。根据公开的市场数据统计，公司ALD产品已连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。 2023年前三季度，公司依据订单节奏安排产品交付并推进客户验收，前期在手订单陆续实现收入转化，专用设备产品验收数量增长导致公司营业收入较上年同期较快增长，从而使得公司业绩相比去年同期实现较大规模增长。2023年前三季度公司实现营业收入10.22亿元，同比增加165.30%；实现归属于母企业所有者的净利润1.55亿元，同比增加1.58亿元。

　　答：截至2023年9月30日，公司半导体在手订单同比增长412.15%，增速高于公司整体订单增速水平，占比逐步扩大。2023年，公司半导体设备在存储领域的拓展成效显著，新增客户主要为国内几家有名的公司，产品类别既包括了ALD设备也包括CVD设备。

　　答：公司已覆盖半导体、光伏、柔性电子等不同的下游应用市场。半导体领域，公司将瞄准国内外半导体技术和工艺的发展趋势，构建和完善ALD、CVD等多种真空薄膜技术产品体系。光伏领域，公司将加速推广以ALD为核心的工艺整线策略和持续推进新一代高效光伏电池技术开发。同时，公司依托产业化应用中心平台探索先进薄膜沉积技术在其他新兴应用领域的发展机会。多领域、多品类产品覆盖能够某些特定的程度平抑各细分市场波动对公司业绩带来的影响，同时，不断拓宽公司市场规模和成长空间。

　　答：公司薄膜沉积设备主要使用在于半导体晶圆、光伏电池片的生产环节，直接影响半导体器件性能及光伏电池片的光电转换效率，是下游客户产线的关键工艺设备。因此，客户对产品的验证要求比较高、验证周期较长。截至2023年9月30日，公司存货账面价值28.32亿元，主要是发出商品，后续验收后将会逐步转化为营业收入。

　　答：一方面，随着DRAM、3D NAND及新型存储器芯片等先进半导体技术的加快速度进行发展，芯片内部结构更复杂，所需要的薄膜层数慢慢的变多，对绝缘介质薄膜、导电金属薄膜的材料种类和性能参数不断提出新的要求。生产环节对于沉积薄膜的厚度、精度、成分和结构的要求提高，高性能薄膜沉积设备采购需求将会持续增加。另一方面，在国产化进程加快的背景下，下游客户新增资本开支和设备产线迭代，将推动国产薄膜沉积设备需求快速增加。

　　答：第三代半导体是公司半导体领域内的主要布局方向之一，目前公司有关产品已取得了多家知名客户的订单，可应用于第三代化合物半导体功率器件领域，保证器件拥有非常良好的漏电和击穿性能，具有广阔的未来市场发展的潜力。未来，公司的目标是抢占该领域内市场发展的制高点。

　　答：在新型显示领域，公司产品主要使用在于硅基OLED的阻水阻氧保护层制备。薄膜沉积环节是影响其量产的关键技术之一。硅基OLED具有尺寸小、便携性等特点，大多数都用在近眼显示系统和投影显示，未来市场发展的潜力广阔且发展迅速。依据市场研究机构MarketsandMarketsTM的研究报告，2018-2024年，硅基OLED行业年均复合增长率将达到41.14%。 自2022年开始，公司量产型ALD设备已陆续获得了京东方、合肥视涯、浙江宏禧等客户的订单并出货，部分产品已获客户验收。目前，公司在该领域内的市场开拓处于起步阶段，占整体订单的比例还较小。

　　答：IBC以及TBC（TOPCon技术与IBC技术结合的BC类太阳能电池结构）等BC类太阳能电池，最大的特点是P-N结和金属接触都处于电池的背面，正面没有金属电极遮挡的影响，因此具有更高的短路电流，同时背面可以容许较宽的金属栅线来降低串联电阻来提升填充因子，加上电池前表面场以及良好钝化作用带来的开路电压增益，使得这种正面无遮挡的电池就拥有了高转换效率。从度电成本等各方面综合看来，BC电池在性能方面十分优越，前景良好。 自2022年开始，公司应用于BC电池制造的ALD设备陆续获得来自隆基和爱旭的订单，并逐步发货，部分设备已于2023年通过客户验收，产品进入产业化应用阶段。根据公开市场数据计算，在爱旭、隆基已投产和拟投产的BC电池生产线中，公司的ALD产品占比保持领先;

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